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据中轴网记者走访了解，我国浙江飞旋科技有限公司研发成功“基于交叉反馈控制的FS450型分子泵磁轴承”，这是第一个国产磁轴承产品，磁轴承又称主动磁悬浮轴承，是一种转子与定子之间没有机械接触的新型高性能轴承。它由机械部件、电控系统、传感器和辅助轴承等构成。利用电磁力作用将转子悬浮于空间，具有无机械磨损、降耗低、允许转速高、噪声少、寿命长、无润滑介质等优点。选择磁轴承作为分子泵转子的支承，可以从根本上解决传统轴承润滑带来的润滑油脂的油蒸汽返流对真空室污染等问题，使磁轴承真空分子泵成为集成电路制造设备首选的超高真空获得设备。此产品研发成功从而在分子泵应用领域打破了国外的技术垄断，使我国成为继法国、美国、加拿大、德国等少数发达国家之后拥有自主知识产权磁轴承技术产品的国家。
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